Модуль передньої частини пластини 300 мм
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Name: BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Brand: BROOKS ASYST
Price: 59750 EUR
Availability: InStock

фіксована ціна додається ПДВ

59 750 EUR

Рік випуску

2010

Стан

Вживаний

Місцезнаходження

Dresden

Модуль передньої частини пластини 300 мм BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Показати карту

Дані про машину

Назва машини:: Модуль передньої частини пластини 300 мм

Виробник:: BROOKS ASYST

Модель:: Spartan EFEM Sorter

Рік випуску:: 2010

Стан:: вживаний

Ціна та місцезнаходження

фіксована ціна додається ПДВ

59 750 EUR

Місцезнаходження:: Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

Зателефонувати

Деталі пропозиції

ID оголошення:: A20798077

Референсний номер:: LW43278

Оновлення:: останній раз 19.12.2025

Опис

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300мм, ASYST Spartan EFEM, Сортувальник

Модель: ASYST Spartan EFEM
Тип: Сортувальник
Стан: Б/в

Технічні характеристики:
100-240V AC
50/60Hz
10A

Загальна інформація:
300-мм EFEM з 3-ма завантажувальними портами, міні-чистим середовищем та інтегрованим роботом для перенесення пластин
Iijdpex I Ax Ssfx Agljk

Цей пристрій — це Equipment Front End Module (EFEM) серії ASYST Spartan, розроблений для повністю автоматизованого оброблення 300-мм кремнієвих пластин у виробництві напівпровідників. Він оснащений трьома завантажувальними портами, міні-середовищем з ULPA-фільтрами, внутрішнім освітленням, комплексною системою безпеки та всіма необхідними інтерфейсами для інтеграції з виробничими лініями. Додатково обладнаний повністю інтегрованим роботом для перенесення пластин, який забирає пластини з FOUP-/касетних завантажувальних портів, розділяє їх та точно передає наступним процесним модулям.

Рік випуску: 27.12.2010
В комплекті диск з інструкціями з експлуатації, обслуговування та встановлення (9701-3060-01 Rev G)

Оголошення було перекладено автоматично. Можливі помилки перекладу.