Волога установка для обробки пластин (Wafer)
Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Name: Robotechnik Europe OPTIwet ST30
Brand: Robotechnik Europe
Availability: InStock

Стан

Вживаний

Місцезнаходження

Німеччина

Волога установка для обробки пластин (Wafer) Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Показати карту

Дані про машину

Назва машини:: Волога установка для обробки пластин (Wafer)

Виробник:: Robotechnik Europe

Модель:: OPTIwet ST30

Стан:: готовий до використання (вживаний)

Ціна та місцезнаходження

Місцезнаходження:: Deutschland

Зателефонувати

Деталі пропозиції

ID оголошення:: A20618495

Референсний номер:: INNO30389

Оновлення:: останній раз 26.11.2025

Опис

Установка для мокрохімічної обробки віферів до 12 дюймів, підкладок до X/Y 9 дюймів/9 дюймів, окремо встановлений корпус, процесні модулі, процесна камера із поліпропілену, 2 програмовані медіа-маніпулятори, швидкість обертання 1–4000 об/хв, розгінна рампа 1–3000 об/хв, спін-час 1–999 с, витяжка процесної чаші 2× DN110, камера 2× DN110, корпус 1× DN110, система керування 1× DN110 (по 200 м³/год), CDA 8±2 бар, вакуум -0,8±0,2 бар, азот 4,0±0,5 бар, 3 зливи для рідин, контейнер для 2 концентрованих відходів, контейнер для реагентів із балоном під тиском, 4 термостатичні ванни Julabo. Установка була демонтована під час розбирання. Огляд можливий за домовленістю.
Ndsdjxzii Ujpfx Agpjd

Оголошення було перекладено автоматично. Можливі помилки перекладу.